多功能离子减薄仪

主要技术参数：

1.两把非聚焦型的鞍型场枪，可对样品的大面积区域进行离子抛光或减薄。

2.离子束加速电压调节范围：0.8 kV - 10 kV（0.1 keV每步）；离子束流：最大4.5mA。

3.样品台倾斜范围：-120°至210°（精确度为0.1°）。

4. SEM平面研磨样品台：最大Φ25mm×12mm；TEM和FIB样品台：Φ3mm。

应用领域

1.金属、陶瓷等材料TEM样品的制备。

2.SEM样品表面清洁、抛光。

3.FIB切片样品表面清洁、去非晶层。