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台阶仪

台阶仪

厂家:Kosaka    型号:ET-150

仪器简介

功能:台阶高度、粗糙度、波纹度、翘曲度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌测量及分析。低测定力模式不仅能够避免划伤样品,也能对于软性样品进行测试,适合于各类晶片、薄膜、涂层、MEMS、平板显示等领域的表面测量。

优势:采用了Kosaka独有的直动式台阶测量方式,有效避免了传统杠杆式台阶仪所带来的圆弧误差。全身花岗岩材质的低重心设计,起到了良好的自隔震作用,从而使仪器拥有极高的分辨率和极佳的重复性。

 

二、主要技术参数

1、Z方向分辨率≤0.1 nm,线性度≤±0.25%

2、样品台的垂直直线度:局部0.005 μm/5 mm、全量程0.2 μm/100 mm

3、X方向最大单次测量长度:100 mm

 

三、应用领域

广泛应用于半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等领域样品的台阶高低差、平面度、波纹度、翘曲度、内应力、微细表面形状、段差、粗度等测量。

详细介绍

主要技术参数

1、Z方向分辨率≤0.1 nm,线性度≤±0.25%

2、样品台的垂直直线度:局部0.005 μm/5 mm、全量程0.2 μm/100 mm

3、X方向最大单次测量长度:100 mm

应用领域

广泛应用于半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等领域样品的台阶高低差、平面度、波纹度、翘曲度、内应力、微细表面形状、段差、粗度等测量。

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