场发射扫描电子显

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场发射扫描电子显

场发射扫描电子显微镜厂家：Hitach 型号：SU8220

仪器简介：

功能特点：SEM主要用于固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。它既可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在微米、纳米级样品的表面特征，配备的EDS也可以支持点、线及面上的元素扫描，能准确分析样品的元素分布。。

优势：SU8220冷场扫描电镜采用全新设计的冷场发射电子枪大幅提高了探针电流，并极大增强了电流的稳定性。在低加速电压下，可长时间连续实现高分辨观察和分析功能。具备超高真空发射枪和样品室，将样品污染降至最低，大幅度提高成像分辨率。

主要技术参数：

1.二次电子分辨率：0.8 nm (加速电压15 kV，工作距离4 mm)；1.1 nm (着陆电压1 kV，工作距离1.5 mm)(减速模式)。

2.放大倍率：低倍模式 20 – 2 k；高倍模式 100 – 1000 k。

3.冷场发射电子枪加速电压：0.5 - 30 kV；电子枪着陆电压: 0.01 - 2 kV。

4.能谱仪探测器：布鲁克硅漂移（SDD）电制冷探测器，超薄窗设计，30 mm²有效面积；能量分辨率(100 kcps)≤ 129 eV (Mn-Ka)。

应用领域

金属、陶瓷、矿物、半导体等材料的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析。各种材料微区化学成分的定性和半定量检测。