厂家:日本Hitach 型号:TM3030
仪器简介:
功能特点:可在低真空下观察成分像、阴影像和凹凸像。样品室空气压力大于5Pa,可实现对不导电样品的无喷涂观察。
优势:快速抽真空,操作简便,快速得到图像。
主要技术参数:
1.放大倍率:低倍模式 15 – 60 k。
2.钨灯丝电子枪加速电压:15 kV、 5 kV。
3.手动样品台样品台可移动范围:X: ±17.5 mm;Y: ±17.5 mm。
4.检测器配置:背散射电子检测器(检测器窗口数目≥ 4个)。
应用领域
金属、半导体等材料的显微形貌观察与分析。
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